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0512-57791813开鸿盛世的利洁净低硫丁腈手套凭借低硫低氯、高洁净度、防静电等特性,契合集成电路制造对金属污染防控、微粒控制的严苛标准,在集成电路从晶圆加工到成品检测的多个核心环节均有重要应用,具体如下:
晶圆加工环节 集成电路制造的初始阶段需对晶圆进行光刻、蚀刻、金属化等处理。光刻环节中,操作人员佩戴该手套拿取光刻掩膜版和晶圆,其高洁净度可避免手套表面微粒(≥0.5μm)污染晶圆和掩膜版,防止影响光刻图案的精度;金属化环节会在晶圆表面沉积铝、铜等金属形成电路互连层,手套的低硫特性能避免硫元素与这些金属反应生成硫化物,避免造成电路短路或腐蚀,保障金属互连层的导电性和稳定性。
芯片封装环节 此环节涉及引线键合、密封封装等操作。引线键合时,操作人员要精准操控设备将金属引线连接芯片焊盘与引脚框架,该手套表面电阻稳定在10⁶ - 10⁹Ω,可快速导走人体静电,防止静电击穿脆弱的键合点,同时低硫低离子残留的特点,能避免污染焊盘和引线,保障键合的牢固性;在采用树脂等材料密封芯片时,佩戴该手套进行相关操作,可避免手上的污染物混入密封材料,还能防止高温封装过程中手套释放有害物质,确保密封效果,避免芯片受外界环境侵蚀。
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