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0512-57791813开鸿盛世低表金属防割手套(凯夫拉芯5级防割、无缝针织、低表金属≤55ppbw、低硫低氯无硅、压纹防滑、防静电10⁶-10⁹Ω、耐多晶硅化学品/弱酸碱),可在多晶硅制造全流程中实现防割+防金属污染双重防护,保障硅料纯度、减少表面金属杂质、稳定产品电性能,具体应用如下:
一、多晶硅制备核心工序应用 1. 硅料破碎/分选(防割+控金属污染) - 工业硅破碎/氢化料处理:5级防割抵御硅块尖角/碎硅割伤,无缝针织防纤维脱落;低表金属防手套金属离子迁移至硅料,避免多晶硅中Fe/Cu/Ni超标,压纹掌面稳持破碎锤/夹具防打滑,适配千级洁净区操作。 - 硅料筛分/人工分选:防静电导走摩擦电荷,防硅粉吸附与二次污染;低硫低氯防硅料表面硫化/氯化,9寸袖口防粉尘侵入,适配不同粒度硅料分级操作,保障进料纯度。 2. 还原/氢化(防腐蚀+防微污染) - 还原炉装料/卸料:耐HCl/Cl₂等腐蚀性气体,低挥发物防三氯氢硅/四氯化硅工艺污染;防滑设计稳持石墨电极/硅芯夹具,防高温(≤120℃)操作时脱落,低表金属避免硅棒表面金属杂质沉积,提升多晶硅电阻率一致性。 - 氢化炉维护:擦拭炉壁/管道时,低纤维脱落防杂质进入氢化反应体系,耐SiHCl₃/SiCl₄,防管道残留化学品腐蚀手部,保障氢化转化率稳定。 3. 精馏/提纯(防泄漏+防离子污染) - 精馏塔填料更换/取样:防金属填料边缘割伤,低表金属防填料表面金属迁移至三氯氢硅;耐有机溶剂与高纯试剂,低离子析出防Na⁺/K⁺污染精馏体系,适配电子级多晶硅提纯(纯度≥99.9999999%)需求。 - 高纯试剂输送/阀门操作:防滑掌面精准控制阀门,防静电防试剂管道静电火花,低硫低氯防金属管路腐蚀,保障精馏纯度与生产安全。
硅棒处理与硅片加工应用 1. 硅棒切割/截断(防崩边+防表面污染) - 多晶硅棒截断/开方:5级防割抵御金刚石线/硅棒断面割伤,低表金属防手套与硅棒接触引入杂质,防静电防硅粉吸附影响切割面平整度,适配12寸硅棒截断操作,减少边缘崩边与表面划痕。 - 硅块清洗/去金属:耐HF/HNO₃混合酸,低硫低氯防硅块表面金属(Al/Fe)硫化/氯化,压纹掌面稳持硅块防滑落,无粉无硅防清洗液污染,保障硅块表面洁净度。 2. 硅片切割/研磨(防划伤+控微粒污染) - 硅片切割前备料:防切割刀具/硅片边缘割伤,低纤维脱落防硅片表面微粒残留;防静电防切割过程中静电吸附硅粉,适配多线切割工序,减少硅片隐裂与碎片率。 - 硅片研磨/倒角:防滑设计稳持硅片夹具,低表金属防研磨液中金属杂质增加,耐研磨膏与清洗液,防手部腐蚀,保障硅片TTV(总厚度偏差)与边缘质量。
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