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0512-57791813不溶性颗粒物,是指手套表面脱落的≥0.5μm、≥5.0μm固体微颗粒、橡胶碎屑、填料杂质,是评判手套洁净等级的核心硬性指标。该指标的核心意义:
1. 直接决定手套能否适配对应洁净室:百级手套的不溶性颗粒物释放量,远低于千级手套,若颗粒物超标,会直接提升无尘室悬浮微粒数量,导致洁净室环境不达标;
2. 杜绝产品表面污染:微颗粒附着在晶圆、面板、芯片表面,会造成产品外观不良、功能缺陷、良率损失;
3. 避免设备故障:颗粒物进入精密设备、工装、镜头内部,会造成设备卡顿、精度下降、寿命缩短。
千级/百级手套出厂前,均会通过微粒计数器检测不溶性颗粒物含量,确保匹配无尘室环境要求。
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